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温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的 放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。)
低温等离子体中的高能电子可使电负性高的气体分子（如氧分子、氮分子）带上电子而成为负离子，它具有许多良好的效应，对人体及其他生物的生命活动有着十分重要的影响，被人们誉为“空气维生素”、“长寿素”。 低温等离子体的净化作用还具备显著的生物效应。发生的静电作用在各种细菌、病毒等生物表面产生的电能剪切力大于细胞膜表面张力，使细胞膜遭到破坏，导致生物死亡。因此低温等离子体除臭技术具有的消毒杀菌之功效。 以上所述...”
